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压电移相器及其在全息干涉术中的应用

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-04-23 0:06:57 * 浏览: 3
压电移相器及其在全息干涉术中的应用,让我们共同理解。 1.压电移相器移相器是相移干涉仪中非常重要的部分。压电移相器具有分辨率高,响应速度快,易于控制和性能稳定等优点,因此被广泛使用。然而,压电陶瓷也有其缺点,即非线性误差和位移小,这是影响其应用范围扩大的原因。针对这一问题,哈尔滨明日科技有限公司设计开发了一种压电陶瓷(PZT)电压驱动电路,采用具有放大特性的柔性铰链结构来驱动相移致动器,从而达到移相的目的。结合光学设备,低端计算机程序和在软件开发平台上编写数据处理程序,开发了一套相移控制测量设备。为了有效解决PZT非线性,蠕变特性和磁滞特性对相移精度的影响,该器件采用电压位移闭环反馈控制来实现自适应微米级驱动器定位控制,从而大大改善了非线性并减小了除了外部影响和干扰,相移的测量精度也得到了显着提高。压电移相器由三组压电陶瓷叠层驱动,可用于直径为106mm的光圈且位移行程大于20um的透镜。实验证明,压电移相器具有很好的效果,控制精度可以达到亚纳米水平。可以大大提高测量度。它在相位测量技术中具有广泛的实用价值,并已广泛用于各种现代干涉仪中。激光平面干涉仪2.压电移相器在全息干涉仪中的应用立即做出快速判断。进行这种判断的方法很多,但是有些比较麻烦,有些计算复杂,有些需要特殊的设备,有些似乎很不直观,等等,这些都给全息干涉测量带来了很多不便。压电移相器可以解决所有上述问题。在实时全息干涉术中,为了确定物体位移和变形的方向,将压电移相器放置在参考光路上。它实际上是一个小镜子,利用压电效应来控制其空间位置。我们使用这种移相器,镜的直径可以达到106mm,控制电压可以在0-120V的范围内调节,以使镜向前或向后移动20微米或更大。压电移相器用于改变参考光路,并根据此时干涉条纹的移动来判断物体位移和变形的方向。该方法简单,方便,直观,可以快速使物体的方向发生位移和变形。判断。